RFジェネレータ（RF電源）は、マッチングネットワークと組み合わせてプラズマ電源システムを構成し、400kHz、2MHz、13.56MHz、27.12MHz、60MHzなどの周波数帯で動作する専用電源装置である。高周波電界を生成し、反応チャンバー内のプロセスガスをイオン化する ...