会員（無料）になると、いいね！でマイページに保存できます。 MEMSとは何か、半導体との違いは？ MEMS（Micro Electro Mechanical Systems：微小電子機械システム）とは、数ミリメートル角程度のシリコンウェハー、ガラスウェハー、有機フィルムなどの上に、数 ...