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GIGAfab: Plasma system for single-wafer operation - from PVA MPS
https://www.pvatepla-mps.com/en/products/single-wafer-systems/ Impression of the handling procedure inside a GIGAfab A300. The video shows the procedure when the robot arm handles a 300mm wafer between Front Opening Unified Pod (FOUP) station, pre-aligner, plasma chamber, cooling station and finally back into the FOUP. This particular type of ...
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