Silicon carbide coating processing on graphite surface for semiconductor,MOCVD Susceptor
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Silicon carbide coating processing on graphite surface for semiconductor,MOCVD Susceptor
SiC coating of Graphite substrate for Semiconductor applications produces a part with superior purity and resistance to oxidizing atmosphere. CVD SiC or CVI SiC is applied to Graphite of simple or complex design parts. Coating can be applied in varying thicknesses and to very large parts.
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